ICP ICPS-7510電感耦合等離子體發射光譜儀島津ICP採用的電晶體固態高頻發生器╃·│↟◕，是目前商品化ICP光譜儀中╃·│↟◕，體積Z小₪☁╃、重量Z輕的發生器▩│·。霧化效率高╃·│↟◕，達到65%▩│·。所以╃·│↟◕，載氣可以用工業氬氣（99.95%）╃·│↟◕，而無需使用高價的高純氬氣（99.999%）▩│·。